差容式力平衡加速度传感器的工作原理
加速度传感器是用来将加速度这一物理信号转变成便于测量的电信号的测试仪器。
差容式力平衡加速度传感器则把被测的加速度转换为电容器的电容量变化。
差容式力平衡加速度传感器利用变间隙，且用差动式的结构，它优点是结构简单，动态响应好，能实现无接触式测量，灵敏度好，分辨率强，能测量0.01um甚至更微小的位移，但是由于本身的电容量一般很小，仅几pF至几百pF，其容抗可高达几MΩ至几百MΩ，所以对绝缘电阻的要求较高，并且寄生电容(引线电容及仪器中各元器件与极板间电容等)不可忽视。
差容式力平衡加速度传感器的机械部分紧靠电路板，把加速度的变化转变为电容中间极的位移变化，后续电路通过对位移的检测，输出一个对应的电压值，由此即可以求得加速度值。为保证传感器的正常工作，加在电容两个极板的偏置电压必须由过零比较器的输出方波电压来提供。